【48812】HVA 线系列

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  上海伯东美国 HVA 13000系列层流闸阀真空闸阀以一个层流端口嘴为特征, 这样做才能够有用的从气流中密封阀动装构. 为了额定的维护,在阀体上部和下部都有设备净化清洗流道以使惰性气体流入来避免工业废气进入这一些当地. 另一个特点是有一个正面的封闭设备使这个真空阀门真空闸阀能坚持密封的完整性, 甚至在遇到动力跟着压力下降而丢失的时分.

  两个分隔的支架能轻松完成电导（全开）或许0%电导（全关）. 在翻开的方位,一个流孔从活动旅程和一切内部部件是隔脱离的。这个孔口供给了一个经过发力的清洁的接连的活动旅程而且削减了和任何一个阀体设备的工业废气触摸. 封闭方位运用一个传统的密封胶圈以发生1x10E-9Torr的真空密封. 线性驱动答应运用焊接波纹管来密封驱动器而且削减旋转密封圈的必要性。unique的气缸规划使冲击和振荡削减到最小. 此规划十分有益于半导体制作和其他灵敏加工工业要求操作时相对自在振荡的.

  这个HVA 不锈钢阀门真空闸阀供给了的业界最小的接口. 阀体和一切首要内部部件在1100 ℃, 1x10E-6Torr的真空炉中焊接的, 确保了*大的完整性. 这就削减在传统的焊接波纹管阀门里发现的虚漏和缺点了. 在保养方面, 支架部分能够拆掉而不必把真空闸阀从总体系中拆开出来。

  层流闸阀真空闸阀能够用在蚀刻,化学蒸汽堆积等其他要用高腐蚀气体,或许损坏其他阀门的加工中。规范真空阀门真空闸阀不或许接受不断的工业废气侵入. 广泛的半导体使用现已证明这些高真空阀门真空闸阀是进程工艺体系的一笔宝贵财富.

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